一、國內(nèi)現(xiàn)有潔凈廠房內(nèi)氣體管道的干管、支干管與水管、電纜等基本上是敷設在技術夾道、管廊、上下技術夾層內(nèi)，符合潔凈室生產(chǎn)工藝和美觀的要求，也便于各種管道的安裝和維修。規(guī)定與水、電管線盡量共架，是從節(jié)省管架的鋼材耗量，少占空間，降低廠房層高，并考慮到氣體管道的特性，一旦產(chǎn)生泄漏易于發(fā)現(xiàn)和排除，為此規(guī)定共架時應設在其它管道的上部。

二、引入潔凈室氣體管道及管架設裝飾面板，這種做法既滿足生產(chǎn)工藝的要求，又保持潔凈室的整潔美觀，面板的顏色通常與潔凈室內(nèi)的環(huán)境相協(xié)調(diào)；也可與水管道等的裝飾面板統(tǒng)一設置。

為了安全，防止可燃氣體泄漏時積聚，可燃氣體管道應敷設在裝飾面板的外側，水平敷設時應在其頂部便于向上擴散，通過報警探測器予以發(fā)現(xiàn)和排除。

三、氣體管道的管徑通常應按氣體流量、壓力和流速確定?？紤]了高純氣體使用場所的特殊性：一是生產(chǎn)工藝復雜，加工精細，技術更新?lián)Q代快，生產(chǎn)工藝隨時調(diào)整；二是，有些生產(chǎn)設備用氣量很小，為此管徑要考慮并能適應生產(chǎn)調(diào)整的需要，如氣體干管不一定要按流量計算逐級設變徑，同時還應注意到管徑過大，不僅浪費材料而且對高純氣體管道初次吹掃，放空時間長，氣體消耗量大。尤其當間斷用氣，由于氣體流速小，要達到規(guī)定的氣體質(zhì)量較困難或者需要很長的時間。

各種高純氣體在輸送過程中應盡量減少污染，同時考慮管道系統(tǒng)易于吹除，因此管道系統(tǒng)應盡量短，不應出現(xiàn)“盲管”等不易吹除的死角。

為便于在高純氣體管道投入使用前或檢修前后或當氣體純度不符合要求時進行吹除，管道系統(tǒng)應設必要的吹除口。為驗證吹除效果，吹除后是否符合要求和檢測氣體在輸送過程中的純度是否發(fā)生變化，管道系統(tǒng)設置取樣口是十分必要的。

四、氣體管道穿過潔凈室墻壁或樓板處的管段不應有焊縫，是便于檢查焊縫的焊接質(zhì)量。為保持潔凈室的空氣潔凈度和室內(nèi)正壓規(guī)定，管道與墻壁或樓板之間應采取可靠的密封措施，密封材料常用硅橡膠等填堵。

五、可燃氣體和氧氣管道系統(tǒng)發(fā)生事故或氣體純度不符合要求時，需吹除置換，這些氣體吹除置換時不能排入室內(nèi)，所以在管道末端或最高點應設放散管，以便將氣體排入大氣。放散管的排放口應高出屋脊1m，以防止由于風向的影響使排放的氣體倒灌回室內(nèi)。

六、對氣體純度要求嚴格的生產(chǎn)工藝，如電子工業(yè)中電真空器件、半導體器件、特種半導體器件、集成電路等生產(chǎn)工藝，從材料制備到器件制造、封裝、性能測試等工藝過程中各種高純氣中的雜質(zhì)含量將直接影響產(chǎn)品的合格率，如氫氣用于硅外延時，在高溫下氫中的微量氧和水汽易與硅作用生成二氧化硅而影響完整結晶生長，致使外延片的堆垛層錯密度高，甚至變成多晶。

氮氣在擴散過程中作運載氣時，如氮氣中含有氧和水汽易使硅片表面氧化。故對凈化裝置的設置應根據(jù)氣源和生產(chǎn)工藝對氣體純度的要求，選擇相應的氣體凈化裝置。

為保證使用點氣體純度符合要求，規(guī)定氣體終端凈化裝置宜設在鄰近用氣點處以縮短高純氣體管道的長度，避免污染，氣體終端凈化裝置應該是距離用氣點越近越好。

七、在各種生產(chǎn)工藝過程中不僅對各種氣體純度要求十分嚴格，而且對氣體中含塵量也有相應嚴格的要求，有關專家指出，高純氣體中含塵量比其純度在一定意義上顯得更為重要，因此規(guī)定了根據(jù)不同的生產(chǎn)工藝要求設置相應精度的氣體終端過濾器，并規(guī)定應設在靠近用氣點。

在潔凈廠房內(nèi)一般設置預過濾器和高精度終端氣體過濾器。預過濾器是設在潔凈廠房氣體入口室的干管上，作為預過濾，以減輕終端過濾器的負擔，并延長其使用壽命。

預過濾器的濾材通常采用多孔陶瓷管、多孔鋼玉管、微孔玻璃制品、微孔泡沫塑料、粉末冶金管、聚丙腈纖維等。

高精度終端氣體過濾器是設在靠近用氣設備的支管上。其濾材采用超細玻璃棉.高效濾紙、醋酸纖維素濾膜、粉末金屬材料等。

八、進入潔凈廠房的氣體管道其種類依生產(chǎn)工藝的不同而定，通常有不同壓力的干燥壓縮空氣、氮氣、氧氣、氬氣、氫氣、氦氣、氮氫混合氣以及真空等管道，一般各種管道上均設有總控制閥門，壓力表(或真空表)、流量計、過濾器、減壓裝置、在線分析儀等，規(guī)定集中設在氣體入口室內(nèi)，是便于多種氣體管道統(tǒng)一管理和控制，以利安全生產(chǎn)。

九、氣體入口室內(nèi)有可燃氣體管道如氫氣、氮氫混合氣等時，按現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》的規(guī)定，其生產(chǎn)類別屬于甲類火災危險生產(chǎn)，其設置的位置和泄壓面積應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》的規(guī)定。電氣防爆按現(xiàn)行國家標準《爆炸和火災危險環(huán)境電力裝置設計規(guī)范》的規(guī)定為1區(qū)爆炸危險環(huán)境，為此應按現(xiàn)行規(guī)范的要求執(zhí)行。

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