電子級磷酸屬于高純磷酸，是電子行業(yè)使用的一種超高純化學試劑，屬于電子化學品系列產(chǎn)品之，是電子工業(yè)不可替代的無機化工產(chǎn)品。電子級磷酸廣泛用于大規(guī)模集成電路、薄膜液晶顯示器等微電子工業(yè)，主要用于芯片的清洗和蝕刻，其純度和潔凈度對電子、元器件的成品率、電性能及可靠性有很大影響。而環(huán)境控制是電子級磷酸項目的質(zhì)量保障體系之一，具有十分重要作用。大氣中所含塵埃和多雜質(zhì)，會對高純度的電子級磷酸產(chǎn)品造成污染，因此必須在產(chǎn)品制備過程中和分析檢測過程中，對各個環(huán)節(jié)可能接觸的污染空氣進行潔凈化處理，達到相應的潔凈度要求。除工藝空氣必須經(jīng)物理和化學方法凈化，以免帶入固體微粒等雜質(zhì)外，生產(chǎn)車間、輔助車間、實驗室等都有清潔度要求。由于電子級磷酸質(zhì)量不僅與生產(chǎn)工藝有關(guān)，而且與超凈生產(chǎn)環(huán)境密切相關(guān)。因此必須在產(chǎn)品制備過程和分析檢測過程中，對各個環(huán)節(jié)可能接觸的污染空氣進行潔凈化處理，達到相應的潔凈度要求。

凈化空調(diào)系統(tǒng)設計

一、空調(diào)負荷

空調(diào)負荷主要由圍護結(jié)構(gòu)傳熱、人體散熱、室內(nèi)照明散熱、室內(nèi)設備散熱、室內(nèi)散濕過程產(chǎn)生的潛熱和新風負荷等部分組成。經(jīng)計算，本工程夏季空調(diào)系統(tǒng)耗冷量為214kW，選用一臺制冷量為226. 4kW水冷螺桿式冷水機組；冬季空調(diào)系統(tǒng)耗熱量為345kW，熱源由廠區(qū)鍋爐房提供。

二、換氣次數(shù)

根據(jù)《潔凈廠房設計規(guī)范》中提出的換氣次數(shù)與潔凈度的關(guān)系，ISO Class6潔凈度要求的換氣次數(shù)為50~60次/h，ISO Class7潔凈度要求的換氣次數(shù)為15~25次/h。根據(jù)工程的實際情況，本次設計ISO Class6 潔凈區(qū)的換氣次數(shù)取55次/h，ISOClass7潔凈區(qū)的換氣次數(shù)取20次/h。

三、新風量的確定

新風量取保證室內(nèi)正壓所需風量與排風量之和，以及室內(nèi)工作人員所需的新風量的最大值。保證室內(nèi)正壓要求的新風量按下式計算：

Q₁=a·Σ(q·L)

式中：Q₁為維持潔凈室正壓所需的新風量，m³/h；a為根據(jù)圍護結(jié)構(gòu)氣密性確定的安全系數(shù)，可取1.1~1.2；q為當潔凈室為某一正壓值時，其圍護結(jié)構(gòu)單位長度縫隙的滲漏風量，m³/(h：m)，可根據(jù)正壓值查表得到；L為圍護結(jié)構(gòu)的縫隙長度，m；按《潔凈廠房設計規(guī)范》規(guī)定取。

通過計算，保證室內(nèi)正壓所需風量與排風量之和為13620m³/h，室內(nèi)工作人員所需的新風量按每人每小時40m³計，即：

Q₂=40n

式中：Q₂為保證室內(nèi)工作人員所需的新風量，m³/h；n為室內(nèi)工作人員人數(shù)。室內(nèi)工作人員數(shù)為34人，所以：Q₂=1360m³/h。因Q1>Q2，所以新風量取13620m³/h。

四、正壓控制

設置余壓閥是保證室內(nèi)有較穩(wěn)定的正壓值的有效措施。由于本工程送回風口均帶手動風量調(diào)節(jié)閥，所以只需控制送回風量差即可實現(xiàn)室內(nèi)正壓控制，所以不再設置余壓閥。

五、系統(tǒng)的設計

本工程生產(chǎn)產(chǎn)品為電子級磷酸，在產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中不同的工序?qū)Νh(huán)境的潔凈度有不同的要求，但其運行班次和使用時間相同，對溫、濕度控制要求差別不大，所以本工程ISO Class6潔凈區(qū)和ISOClass7潔凈區(qū)設為一個潔凈空調(diào)系統(tǒng)，選用兩臺送風量為63000m³/h的組合式空調(diào)機組共同供給。系統(tǒng)采用集中式定風量一次回風系統(tǒng)，空調(diào)機組布置于空調(diào)機房內(nèi)，送入車間的空氣首先經(jīng)空調(diào)機組進行新回風混合、熱濕處理及初、中效過濾后經(jīng)高效過濾送風口送入生產(chǎn)控制區(qū)各房間，回風由設置的回風夾墻、回風柱抽回至空調(diào)器。氣流組織方式為，高效過濾器孔板送風口上送下回式非單向流。灌裝間內(nèi)局部ISO Class5 潔凈區(qū)采用層流棚的送風形式，層流棚設置于室內(nèi)，棚頂滿布FFU送風單元，.棚周圍掛滿防靜電垂簾，棚內(nèi)空氣利用灌裝間潔凈空氣經(jīng)FFU單元垂直層流送入，并從棚底又排入灌裝間內(nèi)，對室內(nèi)潔凈空氣經(jīng)再次過濾后進行循環(huán)利用，這樣大大節(jié)省了空調(diào)能源。

六、組合式空調(diào)機組的組合方式

初效新回風段、表冷段、蒸汽加熱段、送風機段、中間段、中效段、消聲段、出風段。

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